硅片檢測顯微鏡

硅片檢測顯微鏡

高精度粗微動調焦機構

采用底手位粗微調同軸調焦機構，左右側均可調節，微調精度高，手動調節簡單方便，用戶能夠輕松得到清晰舒適的圖像。粗調行程為38mm，微調精度0.002。

大尺寸機械移動平臺

采用180×155mm的大尺寸平臺，右手位設置，符合常規人群操作習慣。用戶操作過程中，便于調焦機構與平臺移動的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環境。

落射柯拉照明系統

采用180×155mm的大尺寸平臺，右手位設置，符合常規人群操作習慣。用戶操作過程中，便于調焦機構與平臺移動的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環境。

硅片檢測顯微鏡參數

光學系統

有限遠色差光學系統

觀察筒

45°傾斜，三目觀察筒，瞳距調節范圍:54-75mm，分光比：80:20

目鏡

高眼點大視野平場目鏡PL10X/18mm，可帶測微尺

高眼點大視野目鏡WF15X/13mm，可帶測微尺

高眼點大視野目鏡WF20X/10mm，可帶測微尺

物鏡

長工作距平場消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）

轉換器

內定位四孔轉換器

內定位五孔轉換器

調焦機構

低手位粗微調同軸調焦機構，粗動每轉行程38 mm；微調精度0.02mm

載物臺

三層機械移動平臺，面積180mmX155mm，右手低手位控制，行程：75mm×40mm

落射照明系統

落射式柯拉照明系統，帶可變孔徑光欄和中心可調視場光欄，自適應寬電壓100V-240V，單顆5W 暖色LED燈，光強連續可調

落射式柯拉照明系統，帶可變孔徑光欄和中心可調視場光欄，自適應寬電壓100V-240V，6V30W鹵素燈，光強連續可調

攝影攝像

0.5X/1X攝像接筒，C型接口，可調焦

其他

起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板；濾色片組；高精度測微尺